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扫描电子显微镜
贵州省机械电子产品质量监督检验院
福禄克，Tescan VEGA3-LMU
贵州省
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仪器参数

1.电镜：   分辨率（最低要求）：   高真空：3.0nm(30kV)，8.0nm(3KV)；   低真空：3.5nm(30kV)；   加速电压（最低要求）：0.3－30kV, 连续可调；   放大倍率（最低要求）：5-300000倍，可连续调整；   样品室尺寸：直径200mm；              最大样品尺寸：81mm；   样品台：五轴马达全自动优中心样品台，移动范围：X:≥80mm，Y≥50mm，Z ≥47mm，旋转：360°2.X射线能谱仪
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