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环境扫描电镜(带能谱、拉伸台)(Scanning Electron Microscope)
湖北航鹏化学动力科技有限责任公司
美国FEI公司，Quanta650
湖北省
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检测范围

拉伸台、能谱仪 离子溅射/热蒸发一体化镀膜系统

仪器参数

分辨率：高真空模式：3.0nm（SE，30kV），4.0nm（BSE，30kV），8.0nm（SE，3kV）
低真空模式：3.0nm（SE，30kV），4.0nm（BSE，30kV）
环境真空模式：3.0nm（SE，30kV）
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