薄膜沉积系统(TFDS)
湖北文理学院
KurtJ.Lesker,PVD75
湖北省
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检测范围

附件:循环水,空压机功能:镀膜,前期制备

仪器参数

真空度10-8torr直流射频、最大溅射功率500w沉积温度:室温-600度真空度是10的负8次方torr
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