准分子激光器(Pluse Laser Deposition)
湖北大学
德国 Lambda Physik 公司,PLD-IV
湖北省
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检测范围

1、电离电源:是工作气体电离; 2、靶位、样品转动控制电源:是成膜均匀; 3、烘烤照明:可对溅射室烘烤至150℃。

仪器参数

1.磁性开关控制(MSC)保护;
2.激光脉冲能量最高400mJ
3.最大重复频率:4W;
4.系统极限真空:6.67×10-6Pa;
5.样品加热温度:800℃;
6.转速:5~60转/min;
7.样品到靶台距离可调范围:30~100mm。
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