仪器参数
型号：Zeiss Sigma HD；灯丝：肖特基场发射；二次电子探测器：样品室内二次电子探测器；镜筒内In-lens二次电子探测器；背散射探测器：AsB角度选择背散射电子探测器；分辨率：1.0nm@15kV；1.9nm@1kV；放大倍数：10x-1,000,000x；加速电压：0.02-30kV；低真空压力范围：无；环境真空压力范围：无；探针电流范围：12pA-20nA；图像电平移：15um；真空模式：高真空模式；真空泵系统：机械泵+分子泵+离子泵；防震系统：内部悬臂式防震系统和外部气垫防震系统；物镜光阑
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