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偏振光椭圆率测量仪(Ellipsometer)
湖南共创光伏科技有限公司
J.A.Woollam，AccuMap-SE
湖南省
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仪器参数

Module size:Width 1’100 mm ± 1.0 mm Length 1’300 mm ± 1.0 mm；Sample thickness: 3–5mm (standard thickness 3 mm)；Thickness Ranges: Silicon(a-Si，μc-Si)20nm–3μm；Precision:<0.005nm1sigma(SiO2 on Si，1nm to 100nm)30measurements without load/unload t
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