检测范围
主要功能：1.材料表面的元素定性和半定量分析，可测量除H和He以外的所有元素，测量深度约10nm；2.元素价态分析；3.深度剖析：利用离子刻蚀功能，分析元素沿样品深度方向的种类、含量及化学状态及其变化；4.XPS成像：表面元素及化学状态分布成像（MAPPING）；5.离子散射谱ISS
仪器参数
AlKα单色化XPS；X射线束斑尺寸从900μm到20μm可选调；大束斑：Ag3d5/2（FWHM＝0.50eV）强度≥1000kcps；20μm束斑：Ag3d5/2，强度≥0.5kcps；最佳能量分辨率：FWHM=0.45eV（Ag3d5/2)；XPS成像：对Ag3d5/2线扫描的最佳空间分辨率优于3μm。
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