多靶磁控溅射设备-测试100仪器共享平台

多靶磁控溅射设备(-)
所在单位：	国防科学技术大学
品牌/型号：	沈阳科学仪器有限公司，非标
所在地区：	湖南省
仪器说明：	我们目前尚未与国防科学技术大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

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1.直流电源：500W；2.射频电源：500W，f=13.56MHz；3.靶材直径Ф60（mm），靶内水冷，靶到样品之间的距离可调约50～90（mm）。

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