扫描探针显微镜(-)
国防科学技术大学
NT-MDT,Solver
湖南省
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检测范围

可用来测量刻蚀掩膜、磁介质、生物材料、光学材料和其它样品的表面特性。利用SCM(扫描电容显微术)模块可以测量半导体材料的掺杂浓度,禁带宽度等。

仪器参数

分辨率:横向0.2nm;垂直0.03 nm;扫描范围:100μmx100μmx5μm。
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