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飞秒激光器(-)
国防科学技术大学
美国相干公司，VERDY-V5/MIRA900-1
湖南省
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激光光束聚焦后直径小于1微米，输出功率> 650mW，调谐范围700-980nm，脉冲宽度<130fs，重复频率76MHz，载物台载物尺寸25-86mm可调，XY方向行程115Х77mm，分辨率0.02μm，重复精度0.3μm。主要为开展二维、三维微纳米结构的制备。
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