检测范围
包括电子光学系统、高、低真空系统、样品室和样品台、二次电子探测器、低真空下的二次电子探头、背散射电子探测器、样品室观察相机等。
仪器参数
1.二次电子分辨率：3.0nm(加速电圧=30kV,WD=5mm,高真空模式)，7.0nm(加速电压=3kV,WD=5mm,高真空模式)；2.背散射电子分辨率：10.0nm(加速电压=5kV,WD=5mm,高真空模式)，4.0nm(加速电压=30kV,WD=5mm,低真空模式)；3.放大倍数：5-300000；4.X射线能谱仪：分辨率，探头优于128eV；5.检测元素范围：Be4-U94。
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