激光分子束外延设备(无)
曲阜师范大学
中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司,LmBE-Ⅱ
山东省
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仪器参数

1.外延室极限真空:2×10-8Pa2.进样室极限真空:1×10-7Pa3.真空室漏率:小于5×10-8Pa.1/s4.靶:4个 可实现自转转速:5-60转/分,连续可调5.靶与样品距离可调30-90mm6.靶材最大直径:70mm7.样品:可做x.y向扫描
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