扫描探针显微镜(无)
青岛理工大学机械设计与制造实验室
VeecoMetrologyInc.DiInnova,DI InnovaSPM
山东省
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仪器参数

X、Y轴分辨率1nm;Z轴分辨率0.1nm。最大扫描范围100μm
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