仪器参数
1 光学系统：恒温驱气型中阶梯分光系统1.1单色器：中阶梯+石英棱镜二维色散系统（全谱光学系统），高能量1.2光室：精密恒温38℃±0.1℃，驱氩气或氮气1.3波长范围：165-847nm，全波长覆盖，可测Al 167.120nm1.4.光学分辨率：≤0.007nm 在200 nm处1.5光学系统校准：计算机控制，自动监控和校准2检测器：2.1检测器类型：二维CID或CCD2.2检测器数量：≥1，检测单元：大于290,000个，2.3检测器冷却系统：高效半导体制冷。温度：≤-45℃，启动时间：
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