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扫描探针显微镜(SPM)(无)
山东理工大学分析测试中心
Veeco（Digital Instruments），Multimode NS3a
山东省
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仪器参数

横向分辨率：0.2nm 扫描范围：(XY方向) 10μm 扫描范围：(Z方向) 2.5μm 样品尺寸：(XY方向) 15mm 样品尺寸：(Z方向) 5mm
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