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硬质涂层镀膜设备(无)
山东大学（威海）
北京泰科诺，TSU-650
山东省
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仪器参数

真空室尺寸650mm*650mm；极限真空：6.67×10-5Pa；4个矩形法兰，配备有线性力资源、磁控溅射矩形平面靶、多弧蒸发源；单极脉冲输出，50-1000V可调；
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