热场发射扫描电子显微镜(无)
山东大学(威海)
FEI,Nova NanoSEM 450
山东省
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仪器参数

(1)        分辨率:1.4nm(1kV); 1nm(15kV)(2)        真空度:样品室真空度≤6x10-4Pa,电子枪真空度≤5x10-7Pa(3)        放大倍数:40倍~80万倍(4)        加速电压:加速电压 50V - 30kV,连续可调 (5)        EDS能量分辨率优于127eV;元素分析范围Be4-Am95,具有点、线、面扫描功能。
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