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磁控溅射镀膜仪(无)
枣庄学院
美国丹顿仪器公司，DISCOVERY-635
山东省
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仪器参数

四个直径4英寸溅射靶枪（含一个磁性增强靶枪），靶枪角度可调节； 溅镀距离+/-100mm可调；独立式气动遮板四个；具备共溅镀和多层膜薄膜沉积功能；样品可加热至800摄氏度；极限真空: 优于1.5E-7Torr；真空抽速：30分钟从大气压抽到5E-6Torr；真空室漏率：优于5E-5Torr.L/s；在8英寸衬底范围内薄膜沉积厚度均匀性为±5、重复性为±3。
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