激光干涉仪(Interferometer)
潍坊半导体照明产品检测中心
TRIOPTICS,FS50
山东省
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检测范围

该设备主要应用于光学元件和透镜的平面和球面的面形检测、平面楔角测量、直角棱镜的直角偏差和任意角度的加工偏差、光学材料均匀性测量、角锥角度和面形偏差测量、精密盘片质量检验、三平板绝对测量、双球面绝对测量、静态干涉条纹判断、泽尼克多项式分析、球面曲率半径的测

仪器参数

分辨率:1000×1000pixes半径测量范围:≤300mm精度:λ/20 (λ632.8nm)
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